https://www.nytimes.com/2021/07/04/technology/tech-cold-war-chips.html

技术冷战中,中国得不到的「最复杂机器」

一家荷兰公司价值 1.5 亿美元的芯片制造工具已成为中美斗争的一个杠杆,这也表明全球供应链是多么根深蒂固

电脑芯片和中国在基础技术上的野心如今是让拜登总统和多位华盛顿立法者倍感忧心的事。

然而,一家荷兰公司出售的一种巨型机器已经成为政策制定者们的有力手段——由此也能看到,任何国家要想建起一套完全自足的半导体技术供应链都是天方夜谭。

这种机器是由位于费尔德霍芬的 ASML 控股公司制造的。它的系统使用了一种不同的光来界定芯片上的极微小电路,从而让一片小小的硅片拥有更强大的性能。这种机床的研发耗时数十年,于 2017 年开始量产,价格超过 1.5 亿美元。机器的运送需要使用 40 个集装箱、20 辆卡车和三架波音 747 飞机。

这种复杂的机器被普遍认为是生产最先进的芯片——一种有地缘政治意义的能力——所必需的。特朗普政府在 2019 年成功游说荷兰政府阻止向中国出售这一设备,没有任何迹象表明拜登政府会改变这一立场。

没有这个系统,生产商就无法制造尖端芯片,而且「只有荷兰公司 ASML 能制造,」乔治城大学安全与新兴技术中心(Center for Security and Emerging Technology)研究分析师威尔・亨特(Will Hunt)说,该机构判断中国至少需要 10 年才能自主制造类似的机器。「从中国的角度来讲,这是件很烦人的事。」

ASML 的机器实际上已经成为芯片供应链的一个瓶颈,而这些芯片被认为是电脑和其他数字设备的大脑。它的开发和生产涉及三大洲——使用了来自日本、美国和德国的专门技术与零件——从中也可以看到供应链的全球化程度,这是任何一个想独自在半导体领域取得大幅进步的国家都需要面对的现实。

不只是中国,美国也是如此。国会正在讨论斥资 500 亿美元以减少对外国芯片生产商的依赖。许多联邦政府部门——尤其是五角大楼——担心美国对台湾顶尖芯片生产商的依赖,以及该岛靠近中国的地理位置。

波士顿咨询集团(Boston Consulting Group)和半导体产业协会(Semiconductor Industry Association)在今年春天发布的一项研究估计,建立自给自足的芯片供应链需要至少 1 万亿美元,芯片以及使用芯片的产品会有大幅涨价。

这个目标对任何人都是「完全不切实际的」,哈佛商学院(Harvard Business School)管理学教授史兆威(Willy Shih)表示。ASML 的技术「极好地说明了为什么我们需要全球贸易」。

此事彰显 ASML 所扮演的关键角色,这家曾经不为人知的公司如今市值已超 2850 亿美元。它是「你没听说过的最重要的公司了」,Evercore ISI 公司分析师 C・J・缪斯(C.J. Muse)说。

ASML 由电子巨头飞利浦(Philips)和另一家机床生产商先进半导体材料国际(Advanced Semiconductor Materials International)于 1984 年联合创办,此后它已经成为一家独立公司,也是使用所谓光刻工艺的芯片制造设备的头号供应商,大幅领先于其他对手。

生产商使用光刻技术不断把芯片电路的图形投射到晶圆上。在一个芯片上可以放入越小的晶体管等元件,它的性能就越强,可以存储越多的数据。这种缩小的过程成为摩尔定律,得名于芯片巨头英特尔(Intel)的创始人之一戈登・摩尔(Gordon Moore)。

1997 年,ASML 考虑转向使用极紫外光(EUV)。这样的光波长极小,可以创造出比传统光刻小得多的电路。公司后来决定生产使用该技术的机器,这个始于 1990 年代末的项目共耗资 80 亿美元。

开发过程迅速全球化。现在,ASML 在这种现金设备的组装中要用到来自德国的反射镜,以及在圣地亚哥开发的硬件,这种硬件通过用激光喷射锡滴来产生光。重要化学品和元件则来自日本。

ASML 首席执行官彼得・温宁克(Peter Wennink)表示,公司早期资金短缺,导致它整合了来自专业供应商的发明,创建了他所谓的「协作知识网络」,得以迅速创新。

「我们只好不让自己去做别人做得更好的事情,」他说。

ASML 的发展建立在与其他国家合作的基础上。80 年代初,美国、日本和欧洲的研究人员开始考虑彻底转变光源。这个概念被一个包括英特尔和另外两家美国芯片制造商以及能源部实验室在内的联盟采纳。

ASML 总裁兼首席技术官马丁・范登布林克(Martin van den Brink)表示,经过一年多的谈判,ASML 于 1999 年加入合作。该公司的其他合作伙伴包括比利时的微电子研究中心(IMEC)和另一个美国联盟半导体制造技术联盟(Sematech)。ASML 后来吸引了英特尔、三星电子(Samsung Electronics)和台积电的巨额投资,以帮助其发展。

由于 EUV 难以捉摸,开发变得更加棘手。光刻机通常通过透镜将光聚焦,以在晶片上投射电路图案。但是 EUV 的短波长会被玻璃吸收,因此无法使用透镜。另一种常见的光引导工具是反射镜,也有同样的问题。这意味着新的光刻技术需要带有复杂涂层的反射镜,这些反射镜结合起来才能更好地反射短波长。

因此,ASML 求助于拥有 175 年历史的德国光学公司和长期合作伙伴蔡司集团(Zeiss Group)。蔡司提供了一个两吨重的投影系统来处理 EUV,其中包括六个特殊形状的反射镜,通过使用离子束去除缺陷的复杂机器人工艺,这些反射镜需要经过数月的打磨、抛光和涂层处理。

范登布林克说,为了产生足够的光以快速投射图像也导致了延迟。但是,ASML 于 2013 年收购的圣地亚哥公司 Cymer 最终对一个系统做出了改进,该系统引导来自高功率激光器的脉冲以每秒五万次的频率冲击锡液滴——第一次冲击是将它们压平,第二次冲击是将它们汽化——以制造强光。

新系统还需要重新设计被称作光掩模的组件,它们在投影电路设计中就像模板一样,以及需要新化学物质,它们沉积在晶片上,当暴露在光线下时会产生这些图像。现在这些产品大部分由日本公司供应。

自 2017 年 ASML 推出商用 EUV 型号以来,客户已经购买了大约 100 个。买家包括三星和台积电——最大的芯片代工服务商。台积电使用该机床制造苹果公司(Apple)为最新的 iPhone 手机设计的处理器。英特尔和 IBM 表示 EUV 对他们的计划至关重要。

IBM 高级副总裁达里奥・吉尔(Darío Gil)说:「这绝对是人类制造过的最复杂的机器。」

荷兰对向中国出口此类机器的限制自 2019 年开始实施,但对 ASML 的财务影响不大,因为它有来自其他国家的订单积压。但该公司约 15% 的销售额来自在中国销售旧系统。

在 3 月提交给国会和拜登的最终报告中,国家人工智能安全委员会(National Security Commission on Artificial Intelligence)提议将出口管制扩大到其他一些先进的 ASML 机器。该委员会由国会资助,旨在限制人工智能在军事应用上的发展。

亨特和其他政策专家认为,由于中国已经在使用这些机器,阻止新销售会损害 ASML,而不会为美国带来太多战略利益。该公司也这样认为。

「我希望理性终将获胜,」范登布林克说

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